[发明专利]沉积设备无效
| 申请号： | 200810094819.3 | 申请日： | 2008-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN101294271A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 西塔明;植竹猶基 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种沉积设备，该沉积设备包括多个线型蒸发源和运动与支撑装置，该多个线型蒸发源提供为在预定的方向上排列，而该运动与支撑装置支撑该多个线型蒸发源以便在蒸发源的排列方向和/或纵向方向上可单独运动。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 | ||
【主权项】：
1、一种沉积设备，包括：多个线型蒸发源，提供为在预定的方向上排列；和运动与支撑机构，用于支撑该多个线型蒸发源以便在该线型蒸发源的排列方向和/或纵向方向上可单独运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于索尼株式会社，未经索尼株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810094819.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：垃圾邮件判定方法及其邮件服务器
- 下一篇：数据包乱序度的测量方法和系统
- 同类专利
- 专利分类
