[发明专利]沉积设备

权利要求书

1、一种沉积设备，包括：

多个线型蒸发源，提供为在预定的方向上排列；和

运动与支撑机构，用于支撑该多个线型蒸发源以便在该线型蒸发源的排列方向和/或纵向方向上可单独运动。

2、根据权利要求1所述的沉积设备，其中该线型蒸发源的运动方式是自动型的。

3、根据权利要求1所述的沉积设备，其中该线型蒸发源的每一个都包括适用于盛放蒸发材料的坩埚和适用于喷射从该坩埚蒸发的蒸发材料的喷嘴，该坩埚和该喷嘴可彼此分离。

4、根据权利要求3所述的沉积设备，其中该线型蒸发源在纵向侧表面中提供有适用于取出和放入该坩埚的开口。

5、根据权利要求3所述的沉积设备，其中隔离墙提供在该坩埚和该喷嘴之间。

6、根据权利要求3所述的沉积设备，其中该线型蒸发源包括用于加热盛放在该坩埚中的蒸发材料的加热源和用于检测该坩埚的温度的温度检测装置，并且构造成包括该坩埚、该加热源和该温度检测装置的坩埚单元可以与该喷嘴分离。