[发明专利]修补液及其制造方法无效
申请号: | 200810081766.1 | 申请日: | 2008-03-07 |
公开(公告)号: | CN101526732A | 公开(公告)日: | 2009-09-09 |
发明(设计)人: | 江鸿儒;詹秀雪;姜秀莲;林洪龙;翁志豪 | 申请(专利权)人: | 中华映管股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;G02B5/20;C09D11/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陈 亮 |
地址: | 台湾省台北*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭示一种修补液,至少由色料、光起始剂、具有反应性官能基的第一单体及添加剂所构成。且上述修补液的固成份含量在99~100wt%之间。由于没有溶剂的关系,所以上述修补液对环境较佳,而且无需热硬化制程,所以硬化时间短。 | ||
搜索关键词: | 修补 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种修补液,包括:色料、光起始剂、具有反应性官能基的第一单体及添加剂,且该修补液的固成份含量在99~100wt%之间。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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