[发明专利]一种可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪

摘要

一种可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪由仪器测量基座(1)、绝对编码器(2)、滚珠丝杠(3)、X向滑动导轨装置(4)、X向限位开关(5)、X向信号采集光栅(6)、驱动箱支承板(7)、传感器驱动箱(8)、立柱导轨(9)、Z向电机(10)、Z向手动调整旋钮(11)、X向电机(12)、X向带轮和齿形带(13)、电感传感器装置(14)、传感器联接杆(15)、多维工作台(16)和电气系统构成。本发明测量参数包含轮廓、波纹度、粗糙度等各种峰高、谷深、总高度、平均偏差、陡度、斜率和支承长度率等100多种参数，为产品用户对被测工件进行各种需要的技术分析提供检测依据，并且能随时根据用户的需要增加某种参数。

主权项

1.一种可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪，其特征在于：该测量仪主要由测量基座(1)、绝对编码器(2)、滚珠丝杠(3)、X向滑动导轨装置(4)、X向限位开关(5)、X向信号采集光栅(6)、驱动箱支承板(7)、传感器驱动箱(8)、立柱导轨(9)、Z向电机(10)、Z向手动调整旋钮(11)、X向电机(12)、X向带轮和齿形带(13)、电感传感器装置(14)、传感器联接杆(15)、多维工作台(16)和电气系统构成，其中测量基座(1)上部开有两个T型槽，多维工作台(16)位于后部的槽中，可以左右精密移动，被测工件置于多维工作台(16)上；立柱导轨(9)安装在测量基座(1)的右侧，Z向绝对编码器(2)安装在立柱导轨(9)的下侧，并位于测量基座(1)的凹槽中；绝对编码器(2)与滚珠丝杠(3)的下端柔性联接在一起，滚珠丝杠(3)位于立柱导轨中(9)的花岗岩定导轨的前方开的槽里，滚珠丝杠(3)中的丝杠螺母与立柱导轨(9)中的动导轨固定在一起；Z向电机(10)安装在立柱导轨(9)的定导轨上端，与滚珠丝杠(3)的上端柔性联接在一起，滚珠丝杠(3)的上端安装Z向手动调整旋钮(11)；传感器驱动箱(8)通过驱动箱支承板(7)安装在立柱导轨(9)中的动导轨前面，可由Z向电机(10)或Z向手动调整旋钮(11)通过滚珠丝杠(3)带动沿立柱导轨(9)上、下精密移动，移动距离由绝对编码器(2)采集；X向电机(12)安装在驱动箱支承板(7)前左侧，X向信号采集光栅(6)位于驱动箱支承板(7)右侧上部，下部与X向滑动导轨装置(4)中的动导轨联接，X向电机(12)通过X向带轮和齿形带(13)与X向滑动导轨装置(4)中的动导轨柔性联接；电感传感器装置(14)通过传感器联接杆(15)与X向滑动导轨装置(4)中的动导轨联接；X向电机(12)可通过X向带轮和齿形带(13)带动X向滑动导轨装置(4)中的动导轨沿X向滑动导轨装置(4)中的定导轨左、右精密移动，并带动电感传感器装置(14)和X向信号采集光栅(6)的读数头左、右精密移动，移动距离由X向信号采集光栅(6)进行采集；在X向信号采集光栅(6)左、右侧安装有X向限位开关，可对电感传感器装置(14)的测头进行X向限位。