[发明专利]一种可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪

说明书

技术领域

本发明属于测量技术领域，特别涉及到一种可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪。

背景技术

机械行业已实现0.001μm的进给技术和0.005μm加工精度，，要求检测技术与之相适应，开发表面形貌测量仪满足先进制造技术的要求，具有重要的社会意义。

目前国内传统的测量轮廓、波纹度和粗糙度等表面形貌的测量仪存在如下缺陷：

一、测量参数单一，不能满足现代制造技术的要求。国内的同类仪器一般只是测量轮廓或粗糙度等单一参数，不能满足各类型国内用户的需要；国外同类仪器的测量参数不能满足国内标准要求。

二、部分生产厂商引进和测绘国外早期的仪器，仪器测量系统分辨率一般在0.01μm，导轨精度在1μm/40mm以下，只能满足一般精度的零件测量要求，主要技术指标与国外相差较大。

三、不能进行Z方向大范围的高精密测量和Z方向的传感器定位，功能难以扩展，而且小量程内不能真正实现高精度测量；X方向选用的光栅尺量程小、精度低，不能符合国内粗糙度测量的标准要求；因为精密制造方面的缺陷，使得导轨直线性不能真正达到测量要求；Z方向不能测量定位。

发明内容

为解决现有技术的不足之处，本发明提供了一种可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪，利用该测量仪，不仅能提高测量的精度和量程，而且能进行轮廓、波纹度、粗糙度、尺寸、平行度等多种参数的测量。

为了实现上述发明目的，本发明采用了如下技术方案：

所述的可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪主要由测量基座、绝对编码器、滚珠丝杠、X向滑动导轨装置、X向限位开关、X向信号采集光栅、驱动箱支承板、传感器驱动箱、立柱导轨、Z向电机、Z向手动调整旋钮、X向电机、X向带轮和齿形带、电感传感器装置、传感器联接杆、多维工作台和电气系统构成，其中测量基座上部开有两个T型槽，多维工作台位于后部的槽中，可以左右精密移动，被测工件置于多维工作台上；立柱导轨安装在测量基座的右侧，Z向绝对编码器安装在立柱导轨的下侧，并位于测量基座的凹槽中；绝对编码器与滚珠丝杠的下端柔性联接在一起，滚珠丝杠位于立柱导轨中的花岗岩定导轨的前方开的槽里，滚珠丝杠中的丝杠螺母与立柱导轨中的动导轨固定在一起；Z向电机安装在立柱导轨的定导轨上端，与滚珠丝杠的上端柔性联接在一起，滚珠丝杠的上端安装Z向手动调整旋钮；传感器驱动箱通过驱动箱支承板安装在立柱导轨中的动导轨前面，可由Z向电机或Z向手动调整旋钮通过滚珠丝杠带动沿立柱导轨上、下精密移动，移动距离由绝对编码器采集；X向电机安装在驱动箱支承板前左侧，X向信号采集光栅位于驱动箱支承板右侧上部，下部与X向滑动导轨装置中的动导轨联接，X向电机通过X向带轮和齿形带与X向滑动导轨装置中的动导轨柔性联接；电感传感器装置通过传感器联接杆与X向滑动导轨装置中的动导轨联接；X向电机可通过X向带轮和齿形带带动X向滑动导轨装置中的动导轨沿X向滑动导轨装置中的定导轨左、右精密移动，并带动电感传感器装置和X向信号采集光栅的读数头左、右精密移动，移动距离由X向信号采集光栅进行采集；在X向信号采集光栅左、右侧安装有X向限位开关，可对电感传感器装置的测头进行X向限位。

所述的可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪，其电感传感器装置由金刚石测针、测杆、联接杆、轴承、外壳、测力弹簧、测力调整螺钉、限位螺钉、磁芯、螺管线圈、支承杠杆、宝石支承、支承座、引出插头构成，其中支承座安装在外壳中，宝石支承安装在支承座右侧的前、后方向开的孔中，支承杠杆与宝石支承联接在一起，可绕宝石支承轴的轴线转动，在支承座中间开有一个上、下孔，孔中间安装螺管线圈，磁芯与支承杠杆固定在一起，可随支承杠杆的转动在螺管线圈进行一定距离的移动，限位螺钉安装在支承座下螺管线圈的左侧，可对支承杠杆的转动进行上下限位；支承座的左侧通过测力调整螺钉与测力弹簧联接，测力弹簧下端通过轴承与支承杠杆联接，通过转动测力调整螺钉可对电感传感器装置的测力进行调节，支承杠杆的左侧与联接杆固定，测杆与联接杆套接，可方便插拔，测杆左侧与金刚石测针固定，引出插头安装在支承座的右侧。