[发明专利]一种可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪

权利要求书

1.一种可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪，其特征在于：该测量仪主要由测量基座(1)、绝对编码器(2)、滚珠丝杠(3)、X向滑动导轨装置(4)、X向限位开关(5)、X向信号采集光栅(6)、驱动箱支承板(7)、传感器驱动箱(8)、立柱导轨(9)、Z向电机(10)、Z向手动调整旋钮(11)、X向电机(12)、X向带轮和齿形带(13)、电感传感器装置(14)、传感器联接杆(15)、多维工作台(16)和电气系统构成，其中测量基座(1)上部开有两个T型槽，多维工作台(16)位于后部的槽中，可以左右精密移动，被测工件置于多维工作台(16)上；立柱导轨(9)安装在测量基座(1)的右侧，Z向绝对编码器(2)安装在立柱导轨(9)的下侧，并位于测量基座(1)的凹槽中；绝对编码器(2)与滚珠丝杠(3)的下端柔性联接在一起，滚珠丝杠(3)位于立柱导轨中(9)的花岗岩定导轨的前方开的槽里，滚珠丝杠(3)中的丝杠螺母与立柱导轨(9)中的动导轨固定在一起；Z向电机(10)安装在立柱导轨(9)的定导轨上端，与滚珠丝杠(3)的上端柔性联接在一起，滚珠丝杠(3)的上端安装Z向手动调整旋钮(11)；传感器驱动箱(8)通过驱动箱支承板(7)安装在立柱导轨(9)中的动导轨前面，可由Z向电机(10)或Z向手动调整旋钮(11)通过滚珠丝杠(3)带动沿立柱导轨(9)上、下精密移动，移动距离由绝对编码器(2)采集；X向电机(12)安装在驱动箱支承板(7)前左侧，X向信号采集光栅(6)位于驱动箱支承板(7)右侧上部，下部与X向滑动导轨装置(4)中的动导轨联接，X向电机(12)通过X向带轮和齿形带(13)与X向滑动导轨装置(4)中的动导轨柔性联接；电感传感器装置(14)通过传感器联接杆(15)与X向滑动导轨装置(4)中的动导轨联接；X向电机(12)可通过X向带轮和齿形带(13)带动X向滑动导轨装置(4)中的动导轨沿X向滑动导轨装置(4)中的定导轨左、右精密移动，并带动电感传感器装置(14)和X向信号采集光栅(6)的读数头左、右精密移动，移动距离由X向信号采集光栅(6)进行采集；在X向信号采集光栅(6)左、右侧安装有X向限位开关，可对电感传感器装置(14)的测头进行X向限位。

2.如权利要求1所述的可用于测量轴承及其它零件表面形貌的测量仪，其特征在于：其电感传感器装置(14)由金刚石测针(17)、测杆(18)、联接杆(19)、轴承(20)、外壳(21)、测力弹簧(22)、测力调整螺钉(23)、限位螺钉(24)、磁芯(25)、螺管线圈(26)、支承杠杆(27)、宝石支承(28)、支承座(29)、引出插头(30)构成，其中支承座(29)安装在外壳(21)中，宝石支承(28)安装在支承座(29)右侧的前、后方向开的孔中，支承杠杆(27)与宝石支承(28)联接在一起，可绕宝石支承(28)轴的轴线转动，在支承座(29)中间开有一个上、下孔，孔中间安装螺管线圈(26)，磁芯(25)与支承杠杆(27)固定在一起，可随支承杠杆(27)的转动在螺管线圈(26)进行一定距离的移动，限位螺钉(24)安装在支承座(29)下螺管线圈(26)的左侧，可对支承杠杆(27)的转动进行上下限位；支承座(29)的左侧通过测力调整螺钉(23)与测力弹簧(22)联接，测力弹簧(22)下端通过轴承(20)与支承杠杆(27)联接，通过转动测力调整螺钉(23)可对电感传感器装置(14)的测力进行调节，支承杠杆(27)的左侧与联接杆(19)固定，测杆(18)与联接杆(19)套接，可方便插拔，测杆(18)左侧与金刚石测针(17)固定，引出插头(30)安装在支承座(29)的右侧。