[发明专利]一种纳米结构的软模板制作方法无效
| 申请号： | 200810037349.7 | 申请日： | 2008-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN101581878A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 周伟民;张静;刘彦伯;李小丽;钮晓鸣;宋志棠;闵国全;万永中;施利毅;封松林 | 申请（专利权）人： | 上海市纳米科技与产业发展促进中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200237上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种软压印模板的制造方法。其特征在于：通过多孔阳极氧化铝(AAO)模板复制出软模板。多孔阳极氧化铝孔径一般为10～500nm，孔洞较直分布均匀，作为母模板可以复制出高分辨率和高复型精度的软模板，减少了模板的制作成本和周期。本发明的显著特点是制作模板成本低廉，周期短，工艺简单，复制出来的软模板可以重复使用，能够实现大面积压印。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 结构 模板 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米结构的模板制作方法，其特征在于：采用多孔阳极氧化铝(AAO)作为母模板，通过聚合物固化后复制出软模板。
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