[发明专利]半导体制造流程辅助决策系统无效
| 申请号： | 200810037105.9 | 申请日： | 2008-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101266486A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 胡洁;詹振飞;王伟明;周飞;彭颖红 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G06Q20/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种计算机应用技术领域的半导体制造流程辅助决策系统，其中：门户系统模块是用户登陆系统的平台，可以分别调用制造流程管理模块、流程信息建模模块、调用数据应用管理模块；制造流程管理模块负责对各制造过程中的流程运行、返工处理、生产进度、统计报表进行管理，流程运行中收集的信息和运行记录保存到资源库模块中；流程信息建模模块建立或更新各类制造流程模板，编辑好的模板保存到资源库模块；数据应用管理模块对资源库模块中的数据进行管理和维护；资源库模块负责对半导体制造相关信息和数据进行存储。本发明能够有效整合企业原本零散的制造工艺信息，减少试验工作量和试验时间。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 制造 流程 辅助 决策 系统 | ||
【主权项】：
1、一种半导体制造流程辅助决策系统，其特征在于，包括：门户系统模块、制造流程管理模块、流程信息建模模块、数据应用管理模块、资源库模块，其中：门户系统模块是用户登陆系统的平台，用户在进行日常的制造流程管理时通过门户系统模块调用制造流程管理模块，在新建或编辑制造流程模板时通过门户系统模块调用流程信息建模模块，管理维护和更新资源库模块中的内容时通过门户系统模块调用数据应用管理模块；制造流程管理模块根据资源库模块中的信息负责对各制造过程中的流程运行、返工处理、生产进度、统计报表进行管理，各流程运行情况和执行结果通过门户系统模块反馈给用户，流程运行中收集的信息和运行记录保存到资源库模块中；流程信息建模模块建立或更新各类制造流程模板，编辑好的模板保存到资源库模块，并在制造流程管理模块中使用；数据应用管理模块对资源库模块中的数据进行管理和维护，实现数据分布式管理、安全性管理；资源库模块负责按照制造流程管理模块、流程信息建模模块和数据应用管理模块的指令进行操作，对半导体制造相关信息和数据进行存储。
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