[发明专利]一种基于MEMS技术的集成五轴运动传感器有效
| 申请号： | 200810019773.9 | 申请日： | 2008-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101270989A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 何野;徐波 | 申请（专利权）人： | 江苏英特神斯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P15/02;G01P15/125 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 韩朝晖 |
| 地址： | 210005江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS技术的集成五轴运动传感器，包括：一个可沿主轴运动的框架；两对相同的感应质量块，每一个感应质量块都由内弹性结构悬挂于框架上；一外弹性结构，将框架悬挂于在传感器平台上；以及分别与两对感应质量块相连以形成电容传感器的两对电极；四个质量块在框架不运动时处于同一平面上，第一对电容传感器用于感应框架相对于传感器平台的第一种运动；第二对电容传感器用于感应框架相对于传感器平台的第二种运动。本发明的五轴运动传感器能够同时测量多个轴向加速度和转动，具有高分辨率和相当低的轴间串扰灵敏度，对环境噪声具有很强的抵抗力，并能以MEMS技术低成本大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 集成 运动 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种基于MEMS技术的集成五轴运动传感器，包含：一个可以沿主轴方向相对于传感器平台运动的框架；第一对质量块，其中每一个质量块相同；第二对质量块，其中每一个质量块相同；第一对内弹性结构，其中每一个弹性结构与第一对质量块中的一个质量块相连并将其悬挂在框架上；第二对内弹性结构，其中每一个弹性结构与第二对质量块中的一个质量块相连并将其悬挂在框架上；第一对电极，其中每一个电极分别与第一对质量块中的一个质量块相连，形成第一对电容传感器；第二对电极，其中每一个电极分别与第二对质量块中的一个质量块相连，形成第二对电容传感器；并且一个外弹性结构，将框架悬挂于传感器平台上；所述的四个质量块在框架不运动时处于同一平面上，第一对电容传感器用于感应框架相对于传感器平台的第一种运动；第二对电容传感器用于感应框架相对于传感器平台的第二种运动。
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