[发明专利]光或放射线检测器及其制造方法有效
| 申请号: | 200780053503.3 | 申请日: | 2007-10-23 |
| 公开(公告)号: | CN101688919A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
| 发明(设计)人: | 吉牟田利典 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号: | G01T1/24 | 分类号: | G01T1/24;H01L27/14 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明的放射线检测器,将模压结构、第一部件以及第二部件分别构成为使得用于保护变换层和电压施加电极的模压结构的电阻,大于在其模压结构的(光或放射线的)入射面侧层积形成的由面状的导电性缓冲材料构成的第一部件的电阻,并且使上述的第一部件的电阻,大于在第一部件的入射面侧层积形成的由面状的导电性部件构成的第二部件的电阻,因此可以抑制由静电而引起噪声。 | ||
| 搜索关键词: | 放射线 检测器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光或放射线检测器,检测光或放射线,该光或放射线检测器具备:变换层,其利用光或放射线的入射,将上述光或放射线的信息变换成电荷信息;电压施加电极,其向该变换层施加偏置电压;模压结构,其用于保护该变换层和电压施加电极;和读出基板,其读出上述电荷信息,该光或放射线检测器还具备:由面状的导电性缓冲材料构成的第一部件,其层积形成在上述模压结构的上述入射面侧;和由面状的导电性部件构成的第二部件,其层积形成在该第一部件的上述入射面侧,该光或放射线检测器将模压结构、第一部件以及第二部件分别构成为使上述模压结构的电阻大于上述第一部件的电阻,并且使上述第一部件的电阻大于上述第二部件的电阻。
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