[发明专利]光或放射线检测器及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于医疗领域、工业领域以及原子能领域等的光或放 射线检测器及其制造方法。

背景技术

采用例子说明X射线检测器。X射线检测器具备X射线感应型的X 射线变换层，因X射线的入射而X射线变换层变换成电荷信息，并通过 读出该变换的电荷信息来检测X射线。由X射线变换层从X射线变换的 电荷非常微小，因此必须对该电荷进行放大。这样微小的电荷，不仅由X 射线发生，由静电的变化也可能发生。所以，在对于放大器前级的数据线 等信号线上由静电发生电位变化的情况下，将静电变化部分误认为信号， 将静电变化部分一并放大就会发生噪声。抑制由静电产生噪声的技术是将 使静电影响变小的虚线(dummy line)配设在薄膜晶体管(TFT)本体上 从而抑制由静电产生噪声(例如参照专利文献1)。

但是，对于由X射线变换层将入射的放射线直接变换成电荷信息的直 接变换型X射线检测器，虽然X射线变换层会由X射线的入射而产生电 荷，但是此时必须对X射线变换层施加高电压(例如数百V～数十kV左 右)的偏置电压。由于施加高电压，必须防止放电，一般采取的对策是用 被称为“模压结构”的绝缘体进行覆盖等。一般结构是在X射线变换层或 电压施加电极的周围设置框，并在其上安装玻璃等绝缘体后，在X射线变 换层或电压施加电极与玻璃之间的空间注入绝缘性树脂并封装。通过这种 结构可以用绝缘性树脂覆盖X射线变换层或电压施加电极予以保护。

但是，在由模压结构那样的绝缘体覆盖的电压施加电极的施加面上， 虽然不再担心会放电，但是在模压结构的入射面(即施加面的对面)上却 发生了放电。那么如上述由放大器将静电的变化部分也一并放大，并产生 了噪声。在模压结构的情况下，还有一种抑制由静电产生噪声的技术(例 如参照专利文献2)是利用模压结构取代玻璃而采用接地的导电性部件来 除去静电。

另外，还有在在曝光计(phototimer)和X射线检测器之间配设接地 的导电性部件，由导电性部件来遮挡从曝光计来的辐射噪声，由接地来疏 导辐射噪声的技术(例如参照专利文献3)。 专利文献1：特开2003-46075号公报(第2～11页，图1) 专利文献2：特开2004-268271号公报(第1～9页，图1) 专利文献1：特开2005-241334号公报(第1～6页，图1、3)

但是，仅仅采用上述的专利文献2的对策的问题是并不能完全解除发 生的静电。特别是，由于施加高电压的电压施加电极的施加面持续带电， 与集电机一样吸附灰尘，并以该灰尘为基点，进一步产生静电噪声。

本发明鉴于这样的事情，目的是提供一种可以抑制由静电产生噪声的 光或放射线检测器及其制造方法。

发明内容

本发明，为了达成这样的目的，采取以下的构成。 即，本发明的光或放射线检测器，检测光或放射线，该光或放射线检 测器具备：变换层，其利用光或放射线的入射，将上述光或放射线的信息 变换成电荷信息；电压施加电极，其向该变换层施加偏置电压；模压结构， 其用于保护该变换层和电压施加电极；和读出基板，其读出上述电荷信息， 该光或放射线检测器还具备：由面状的导电性缓冲材料构成的第一部件， 其层积形成在上述模压结构的上述入射面侧；和由面状的导电性部件构成 的第二部件，其层积形成在该第一部件的上述入射面侧，该光或放射线检 测器将模压结构、第一部件以及第二部件分别构成为使上述模压结构的电 阻大于上述第一部件的电阻，并且使上述第一部件的电阻大于上述第二部 件的电阻。