[发明专利]微机电传感器及其操作方法有效
| 申请号： | 200780034372.4 | 申请日： | 2007-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN101517359A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 冈特·斯帕林格 | 申请（专利权）人： | 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;陈立航 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种微机电传感器(30)，包括：至少一个可动电极(29)，电极布置(311～314)，其与可动电极(29)隔开并且具有多个电极，其中，能够分开驱动多个电极并且能够向多个电极施加相应的电极信号(uo1，uo2，uu1，uu2)，电极信号能够用于静电设置/改变谐振器的施力、弹性常数和读出因子，电极信号生成单元(32)，其连接至电极布置(311～314)，并且能够被提供施力信号(f)、弹性常数信号(Δω)和读出因子信号(m)，这些信号定义可动电极(29)的施力、弹性常数和读出因子将要产生的设置/变化，其中，电极信号生成单元(32)以依赖于施力信号、弹性常数信号和读出因子信号(f，Δω，m)的方式生成各电极信号(uo1，uo2，uu1，uu2)，并且使电极信号(uo1，uo2，uu1，uu2)相互匹配，从而能够将谐振器的施力、弹性常数和读出因子相互独立地设置/改变为特定的期望值。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电传感器(30)，包括：至少一个可动电极(29)，电极布置(311～314)，其与所述可动电极(29)隔开并且具有多个电极，其中，能够分开驱动所述多个电极并且能够向所述多个电极施加相应的电极信号(uo1，uo2，uu1，uu2)，所述电极信号能够用于静电设置/改变谐振器的施力、弹性常数和读出因子，电极信号生成单元(32)，其连接至所述电极布置(311～314)，并且能够被提供施力信号(f)、弹性常数信号(Δω)和读出因子信号(m)，这些信号定义所述可动电极(29)的施力、弹性常数和读出因子将要产生的设置/变化，其中，所述电极信号生成单元(32)以依赖于所述施力信号、所述弹性常数信号和所述读出因子信号(f，Δω，m)的方式生成各电极信号(uo1，uo2，uu1，uu2)，并且使所述电极信号(uo1，uo2，uu1，uu2)相互匹配，从而能够将所述谐振器的施力、弹性常数和读出因子相互独立地设置/改变为特定的期望值。
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