[发明专利]微机电传感器及其操作方法

权利要求书

1.一种微机电传感器(30)，包括：

至少一个可动电极(29)，

电极布置(31₁～31₄)，其与所述可动电极(29)隔开并且具有多个电极，其中，能够分开驱动所述多个电极并且能够向所述多个电极施加相应的电极信号(u_o1，u_o2，u_u1，u_u2)，所述电极信号能够用于静电设置或改变所述可动电极(29)的施力、弹性常数和读出因子，其中，所述读出因子为用于读出所述可动电极(29)的运动的增益因子，

电极信号生成单元(32)，其连接至所述电极布置(31₁～31₄)，并且能够被提供施力信号(f)、弹性常数信号(Δω)和读出因子信号(m)，这些信号定义所述可动电极(29)的施力、弹性常数和读出因子将要产生的设置或变化，

其中，所述电极信号生成单元(32)以依赖于所述施力信号、所述弹性常数信号和所述读出因子信号(f，Δω，m)的方式生成各所述电极信号(u_o1，u_o2，u_u1，u_u2)，并且使所述电极信号(u_o1，u_o2，u_u1，u_u2)相互匹配，从而能够将所述可动电极(29)的施力、弹性常数和读出因子相互独立地设置或改变为特定的期望值。

2.根据权利要求1所述的微机电传感器(30)，其特征在于，还包括：

电荷转移单元，其检测在所述可动电极(29)上所发生的电荷转移，以及

评价单元，其基于所检测到的电荷转移确定所述可动电极(29)的瞬时运动。

3.根据权利要求2所述的微机电传感器(30)，其特征在于，

所述电极信号生成单元以依赖于所述施力信号、所述弹性常数信号和所述读出因子信号(f，Δω，m)的方式生成各所述电极信号(u_o1，u_o2，u_u1，u_u2)，从而使得所述电荷转移仅包含源于所 述可动电极(29)的运动和所述读出因子的值的电荷转移分量。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的微机电传感器(30)，其特征在于，

所述电极布置(31₁～31₄)包含四个电极。

5.根据权利要求4所述的微机电传感器(30)，其特征在于，

将所述四个电极(31₁～31₄)分成两个电极对(31₁，31₃；31₂，31₄)，其中，所述电极被配置成：相对于将所述两个电极对(31₁，31₃；31₂，31₄)彼此分开的第一轴(B)成轴对称，并且相对于将各个所述电极对(31₁，31₃；31₂，31₄)中的电极彼此分开的第二轴(A)成轴对称。

6.根据权利要求5所述的微机电传感器(30)，其特征在于，

所述可动电极(29)被配置成相对于所述第一轴和所述第二轴的交点(S)成中心对称。

7.根据权利要求5所述的微机电传感器(30)，其特征在于，

通过如下等式给出所述电极信号(u_o1，u_o2，u_u1，u_u2)：

其中，Δω表示所述弹性常数信号的值，m表示所述读出因子信号的值，f表示所述施力信号的值，u_o1，u_o2表示位于所述第二轴上方的电极信号的值，且u_u1，u_u2表示位于所述第二轴下方的电极信号的值。