[发明专利]卷绕式真空成膜装置

摘要

抑制油墨凝结效率的降低及相对印刷辊的油墨转印精度的下降，并且实现油墨凝结辊的结构简单化及组装作业性能提高。本发明的卷绕式真空成膜装置的掩模形成单元(20)具有将形成掩模图案(25)的油墨保持在外周的油墨凝结辊(31)、在薄膜(12)的成膜面上将油墨作为掩模图案(25)进行转印的印刷辊(33)、及配置在油墨凝结辊(31)和印刷辊(33)之间并从油墨凝结辊(31)向印刷辊(33)转印油墨的转印辊(32)，并且具备冷却油墨凝结辊(31)的冷却机构、及使转印辊相对于油墨凝结辊(31)、印刷辊(33)在轴方向上周期性摆动的摆动机构。

主权项

1. 一种卷绕式真空成膜装置，其包括：真空室；在上述真空室内使薄膜移动的移动装置；在移动中的上述薄膜上将成膜材料进行成膜的成膜装置；在上述成膜装置的上游、在上述薄膜上形成掩模图案的掩模形成装置，上述掩模图案划定上述成膜材料的成膜区域，该卷绕式真空成膜装置的特征在于，上述掩模形成装置具有：形成上述掩模图案的油墨的供给源、将从上述供给源供给的油墨保持在外周的第一辊、将上述油墨向上述薄膜的成膜面上作为掩模图案进行转印的第二辊、及配置在上述第一辊和上述第二辊之间并从上述第一辊向上述第二辊转印上述油墨的第三辊，并且上述掩模形成装置包括：冷却上述第一辊的冷却机构、及使上述第三辊相对于上述第一辊、第二辊在轴方向上周期性摆动的摆动机构。