[发明专利]卷绕式真空成膜装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种较好地适用于例如薄膜电容器制造的卷绕式真空 成膜装置。

背景技术

过去以来，在薄膜电容器的制造中，使用一边从卷出辊卷出塑料 薄膜等绝缘性薄膜，一边在该薄膜的一个表面蒸镀金属膜后，将该薄 膜卷绕到卷绕辊上的形式的卷绕式真空蒸镀装置。

但是，这种薄膜电容器中，存在薄膜表面形成的金属蒸镀膜被分 片为多个电容器片，相互毗邻的电容器片在由同一蒸镀膜构成的宽度 狭窄的连接部互相连接的所谓自保护功能型的电容器。这样类型的薄 膜电容器中，在局部产生击穿时，通过使上述连接部熔断(保险丝功 能)，从而以单片单位最小限度地抑制电容器的击穿区域。

在以上述卷绕式真空蒸镀装置制造这样的自保护功能型薄膜电容 器的情况下，在卷出辊和蒸发源之间设置有用于形成掩模图案的掩模 形成装置，该掩模图案对薄膜的成膜面划定金属膜的蒸镀区域。作为 掩模形成单元，已知例如如图6所示，将薄膜F夹在印刷辊(版体) P和支承辊(压体)B之间运送，并将从油墨供给源S通过油墨凝结 辊C供应给印刷辊P的掩模图案M形成用油墨，连续从印刷辊P向 薄膜F的成膜面转印形成(参照下述专利文献1)。

在此，油墨凝结辊C具有使从油墨供给源S喷出的油墨蒸气在其 周面凝结、并保持付着的油墨的功能。所以，油墨凝结辊C被油墨蒸 气的凝结热所加热，表面越是高温则油墨的凝结效率越低，从而油墨 付着量减少，所以需要将油墨凝结辊C冷却到规定温度以下。另外， 根据掩模图案M的图案形状，油墨凝结辊C与印刷辊P的接触位置 会被固定，相对于印刷辊P的油墨转印精度下降，有可能劣化掩模图 案M的图案精度。

为解决这样的问题，在图6所示的现有的掩模形成单元中，在油 墨凝结辊C上设置冷却媒介的循环机构以进行强制冷却，并且设置使 油墨凝结辊C在其轴方向(箭头A方向)周期性摆动的摆动机构W。 据此，可以防止向油墨凝结辊C的油墨凝结付着效率下降及相对印刷 辊P的油墨转印精度下降。

专利文献1(日本)特开2000-144375号公报

但是，在图6所示结构的具有现有掩模形成单元的卷绕式真空蒸 镀装置中，油墨凝结辊C具有强制冷却机构和摆动机构，所以存在油 墨凝结辊C的结构复杂化，组装作业繁琐的问题。另外，因为需要在 真空下向可动部循环供给冷却水，所以存在需要特殊的连接结构，招 致装置成本上升的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而进行的，其目的在于提供一种卷绕式真 空成膜装置，其能够抑制油墨凝结效率的降低及相对印刷辊的油墨转 印效率的下降，并且实现油墨凝结辊的结构简单化及组装作业性能提 高。

为解决以上问题，本发明的卷绕式真空成膜装置具备形成掩模图 案的掩模形成装置，上述掩模图案在薄膜上划定成膜材料的成膜区域， 其特征在于，该掩模形成装置具有：形成掩模图案的油墨的供给源、 将从供给源供给的油墨保持在外周的第一辊、将油墨向薄膜的成膜面 上作为掩模图案进行转印的第二辊、及配置在第一辊和第二辊之间并 将油墨从第一辊向第二辊转印的第三辊，且包括冷却第一辊的冷却机 构、及使第三辊相对于第一、第二辊在轴方向上周期性摆动的摆动机 构。

本发明中，第一辊对应于使油墨蒸气凝结付着的油墨凝结辊，第 二辊对应于将油墨图案印刷在薄膜的成膜面上的印刷辊。本发明中， 在这些第一辊和第二辊之间配置将油墨从第一辊向第二辊转印的转印 辊作为第三辊。于是，通过将上述冷却机构设置在第一辊，并将上述 摆动机构设置在第三辊，可以抑制第一辊的油墨凝结付着效率的下降 及相对第二辊的油墨转印效率的下降。

所以，根据本发明，因为是不使油墨凝结辊在其轴方向上摆动的 结构，所以易于设置针对油墨凝结辊的冷却机构，使具有冷却机能的 油墨凝结辊的结构简单化，从而可实现组装性能的提高和制造成本的 降低。

另一方面，油墨凝结辊其表面层通常由陶瓷类的较硬质的材料构 成，并且表面具有细微凹凸结构。另一方面，印刷辊由橡胶、树脂等 塑料类材料形成表面的印刷版。所以，在上述现有的掩模形成单元中， 通过油墨凝结辊在轴方向上摆动，从而与此接触的印刷辊的表面层易 于磨损。作为结果，对于薄膜的掩模图案的转印精度下降，印刷辊的 更换频率变高，不能长期稳定维持掩模图案的转印精度。