[发明专利]卷绕式真空成膜装置

权利要求书

1.一种卷绕式真空成膜装置，其包括：真空室；在上述真空室内 使薄膜移动的移动装置；在移动中的上述薄膜上将成膜材料进行成膜 的成膜装置；在上述成膜装置的上游、在上述薄膜上形成掩模图案的 掩模形成装置，上述掩模图案划定上述成膜材料的成膜区域，该卷绕 式真空成膜装置的特征在于，

上述掩模形成装置具有：

喷射形成上述掩模图案的油墨的油墨喷射源、

将从上述油墨喷射源喷射的油墨蒸气凝结并保持在外周的第一 辊、

将上述油墨向上述薄膜的成膜面上作为掩模图案进行转印的第二 辊、

配置在上述第一辊和上述第二辊之间并从上述第一辊向上述第二 辊转印上述油墨的第三辊、及

支承辊，其在与上述第二辊之间夹持上述薄膜，将上述薄膜压接 于上述第二辊，

上述掩模形成装置包括：向上述第一辊流动冷却媒介进行冷却的 冷却机构、及

使上述第三辊相对于上述第一辊、第二辊在轴方向上周期性摆动 的摆动机构，

上述第三辊的表面层由比上述第一辊及上述第二辊的表面层更软 质的材料形成。