[发明专利]感光性树脂组合物及感光性薄膜有效
| 申请号： | 200780015341.4 | 申请日： | 2007-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101432659A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 宫崎久远;早川隆志 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08G73/06;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027;H05K3/28 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 侯 莉 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是这样一种感光性树脂组合物，该组合物含有碱性可溶性树脂，所述碱性可溶性树脂在碳酸钠水溶液的溶解速度在0.04μm/秒以上，在将所述感光性树脂组合物涂覆在基材上、对通过加热脱溶剂后得到的膜厚30μm的感光层照射1000mJ/cm2以下的活性光线时，由所述感光性树脂组合物构成的感光层的活性光线照射部在碳酸钠水溶液的溶解速度为0.22μm/秒以上，活性光线未照射部的残膜率为90％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 薄膜 | ||
【主权项】：
1. 一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有碱性可溶性树脂，所述碱性可溶性树脂在碳酸钠水溶液的溶解速度在0.04μm/秒以上，在将所述感光性树脂组合物涂覆在基材上、对通过加热脱溶剂后得到的膜厚30μm的感光层照射1000mJ/cm2以下的活性光线时，由所述感光性树脂组合物构成的感光层的活性光线照射部在碳酸钠水溶液的溶解速度为0.22μm/秒以上，活性光线未照射部的残膜率为90％以上。
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