[发明专利]液体材料气化装置无效
| 申请号： | 200780010941.1 | 申请日： | 2007-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101410548A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 西川一朗;河野武志 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448;H01L21/205 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种液体材料气化装置，包括：将液体材料(LM)与运载气体(CG)混合而生成气液混合体(GL)的气液混合部(1)；对来自所述气液混合部(1)的气液混合体(GL)进行气化、利用所述运载气体(CG)将该气化的气体导出到外部的加热型的气化部(2)；以及连接所述气液混合部(1)和所述气化部(2)、内部具有所述气液混合体(CL)的流道的连接部(3)；以及将所述连接部(3)冷却的连接部冷却部(4)，由此，即使在对由具有不同沸点的多种材料构成的液体材料进行气化的场合，也能防止产生残渣，能良好地进行气化。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 材料 气化 装置 | ||
【主权项】：
1.一种液体材料气化装置，其特征在于，包括：将液体材料与运载气体混合而生成气液混合体的气液混合部；对来自所述气液混合部的气液混合体进行气化、利用所述运载气体将该气化生成的气体导出到外部的加热型的气化部；连接所述气液混合部和所述气化部、内部具有所述气液混合体的流道的连接部；以及将所述连接部冷却的连接部冷却部。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
