[发明专利]液体材料气化装置无效
申请号: | 200780010941.1 | 申请日: | 2007-04-04 |
公开(公告)号: | CN101410548A | 公开(公告)日: | 2009-04-15 |
发明(设计)人: | 西川一朗;河野武志 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;H01L21/205 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 | 代理人: | 徐申民 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 材料 气化 装置 | ||
1.一种液体材料气化装置,其特征在于,包括:
将液体材料与运载气体混合而生成气液混合体的气液混合部;
对来自所述气液混合部的气液混合体进行气化、利用所述运载气体将该气化生成的气体导出到外部的加热型的气化部;
连接所述气液混合部和所述气化部、内部具有所述气液混合体的流道的连接部;以及
将所述连接部冷却的连接部冷却部。
2.如权利要求1所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述连接部冷却部对所述连接部的大致整体进行冷却。
3.如权利要求1所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述气化部加热保温到约300度左右。
4.如权利要求1所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述连接部冷却部具有接受冷却气体的供给、并安装于所述连接部的一个或多个连接部冷却翼片。
5.如权利要求4所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述连接部冷却翼片配置在冷却箱内,该冷却箱具有将所述冷却气体导入内部的导入口和将冷却使用后的冷却气体向外部导出的导出口。
6.如权利要求4所述的液体材料气化装置,其特征在于,具备有预先对所述冷却气体进行冷却的冷却气体冷却部。
7.如权利要求6所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述冷却气体冷却部具有一个或多个冷却气体冷却翼片、以及冷却气体冷却用珀耳帖元件,所述冷却气体冷却用珀耳帖元件的冷却侧安装于冷却气体的流道而其发热侧安装在所述冷却气体冷却翼片上。
8.如权利要求1所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述连接部冷却部具有将冷却侧安装在所述连接部的连接部冷却用珀耳帖元件、以及安装在该连接部冷却用珀耳帖元件发热侧的一个或多个珀耳帖元件冷却翼片。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的