[发明专利]具有可变扫描频率的离子植入机有效
| 申请号： | 200780010801.4 | 申请日： | 2007-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN101410929A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 约瑟·C·欧尔森;摩根·艾文斯 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/147;H01J37/317;H01J37/302;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿 宁 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种具有可变扫描频率的离子植入机包括离子束产生器，其产生离子束；扫描器，其沿至少一方向以一扫描频率对所述离子束进行扫描；及控制器。所述控制器根据所述离子植入机的操作参数控制所述扫描频率，所述操作参数至少部分取决于所述离子束的能量，若所述能量高于能量阀(threshold)值，则所述扫描频率高于扫描频率阀值，若所述能量低于所述能量阀值，则所述扫描频率低于所述扫描频率阀值。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可变 扫描 频率 离子 植入 | ||
【主权项】：
1、一种具有可变扫描频率的离子植入机，其特征在于其包括：离子束产生器，其产生离子束；扫描器，其沿至少一方向以一扫描频率对所述离子束进行扫描；以及控制器，其根据所述离子植入机的操作参数控制所述扫描频率，所述操作参数至少部分取决于所述离子束的能量，若所述能量高于能量阀值，则所述扫描频率高于扫描频率阀值，若所述能量低于所述能量阀值，则所述扫描频率低于所述扫描频率阀值。
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