[发明专利]气体导入装置及其制造方法以及处理装置

摘要

本发明提供一种能够迅速且同时从各气体喷射孔进行气体的供给开始和供给停止的气体导入装置(24)，其被配置在可排气的处理容器(22)内，具备与处理容器内相对设置的气体导入头体(110)。在气体导入头体上设置有用于供给气体流动的供给气体流路(112)、排气流路(114)、用于控制气体流动的控制气体流路(116)、设置在导入头体的与处理容器相对面上的多个气体喷射孔(28)。另外，在气体导入头体(18)上设置有与供给气体流路、排气流路和控制气体流路连通并且与气体喷射孔对应设置的纯流体逻辑元件(118)。

主权项

1.一种气体导入装置，其特征在于：该气体导入装置被设置在可排气的处理容器内，用于向处理容器内导入气体，其中，所述气体导入装置具有与所述处理容器内相对设置的气体导入头体，在所述气体导入头体上设置有用于供给气体流动的供给气体流路，在所述气体导入头体上设置有排气流路，在所述气体导入头体上设置有用于控制气体流动的控制气体流路，在所述气体导入头体的与所述处理容器相对的面上设置有多个气体喷射孔，与所述各气体喷射孔相对应地设置有与所述供给气体流路、所述排气流路和所述控制气体流路连通的纯流体逻辑元件。