[实用新型]一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置

摘要

一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其包括炉底上固定炉体，炉体上装配可开闭的炉盖，炉盖上安装了冷却回流系统，上述结构组成沉积装置的主体；感应线圈安装在炉体内，并连接感应加热电源系统，感应加热电源系统连接控制系统，石墨发热体和炭/炭构件预制体紧密连接，放置在感应线圈中央并固定在炉底上的支架上，在冷却回流系统上安装在线气体检测系统，液态前驱体供给和回流系统与过滤器和炉体相连。利用该装置制备的炭盘，其制备周期为25～30小时，提高了生产效率，降低了生产成本，而且装置能够在常压下运行，能量和前驱体利用率高，安全性能好。

主权项

1、一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该装置包括：炉底上固定炉体，炉体上装配可开闭的炉盖，炉盖上安装冷却回流系统，上述结构组成沉积装置的主体；感应线圈安装在炉体内，并连接感应加热电源系统，感应加热电源系统连接控制系统，石墨发热体和炭/炭构件预制体紧密连接，放置在感应线圈中央并固定在炉底上的支架上，在冷却回流系统上安装在线气体检测系统，液态前驱体供给和回流系统与过滤器和炉体相连。