[实用新型]一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置

权利要求书

1、一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该装置包括：炉底上固定炉体，炉体上装配可开闭的炉盖，炉盖上安装冷却回流系统，上述结构组成沉积装置的主体；感应线圈安装在炉体内，并连接感应加热电源系统，感应加热电源系统连接控制系统，石墨发热体和炭/炭构件预制体紧密连接，放置在感应线圈中央并固定在炉底上的支架上，在冷却回流系统上安装在线气体检测系统，液态前驱体供给和回流系统与过滤器和炉体相连。

2、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该感应线圈通过陶瓷绝缘支架固定在炉底上。

3、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该炉体的外壁上安装有冷却水入口和冷却水出口。

4、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该炉体上安装光学观察窗。

5根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：炉体外壁上连接保护气。

6、根据权利5要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该保护气通过气体流量计和气体阀门与炉体连接。

7、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该石墨发热体内外表面采用隔热材料包覆，上下表面包覆一层石墨纸，然后将炭/炭构件预制体放置在石墨发热体的上下表面，炭/炭构件预制体的外表面包覆一层2～3mm的炭毡或玻璃纤维毡。

8、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该炉体上安装液位控制系统。

9、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装

置，其特征在于：该冷却回流系统外壁开有冷却水入口和冷却水出口。

10、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该冷却回流系统内安装制冷系统。

11、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该冷却回流系统上安装测量系统内压力的压力表。

12、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该冷却回流系统上部安装压力安全阀。

13、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该冷却回流系统的上部连接在线气体检测系统。

14、根据权利1要求所述的一种制备炭/炭构件的新型液相气化渗透沉积装置，其特征在于：该冷却回流系统的上部连接过滤器，尾气处理系统与过滤器连接。