[发明专利]利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置有效
| 申请号： | 200710305715.8 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101403089A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 赵相振;李彰熙;金学鲁 | 申请（专利权）人： | 韩国原子力研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置，其能够通过一次工序对大量的大型基板进行蒸镀，容易大量生产。该装置包括：多层基板固定器安装室(MSSHR)，其安装有用于真空的薄膜的蒸镀的多个基板；多层基板固定器(MSSH)，其固定从上述多层基板固定器安装室安装的上述基板；直线移送驱动部(MUML)，其配备在上述多层基板固定器(MSSH)的一侧，以向蒸镀移送驱动部(SHMU)装载上述基板固定器，所述蒸镀移送驱动部(SHMU)用于从上述多层基板固定器(MSSH)抽出基板固定器，向用于进行薄膜蒸镀的基板蒸镀待机室(LSCS)移送；以及薄膜蒸镀腔室(CMS)，其对装载在上述蒸镀移送驱动部(SHMU)的上述基板进行蒸镀作业。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 多层 固定器 批量 生产 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置，其包括：多层基板固定器安装室(MSSHR)，其安装有用于真空的薄膜蒸镀的多个基板；多层基板固定器(MSSH)，其固定从上述多层基板固定器安装室安装的上述基板；直线移送驱动部(MUML)，其配备在上述多层基板固定器(MSSH)的一侧，以向蒸镀移送驱动部(SHMU)装载上述基板固定器，所述蒸镀移送驱动部(SHMU)用于从上述多层基板固定器(MSSH)抽出基板固定器，向用于进行薄膜蒸镀的基板蒸镀待机室(LSCS)移送；以及薄膜蒸镀腔室(CMS)，其对装载在上述蒸镀移送驱动部(SHMU)的上述基板进行蒸镀作业。
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