[发明专利]利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置

权利要求书

1.一种利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置，其包括：

多层基板固定器安装室，其安装有用于真空的薄膜蒸镀的多个基板；

多层基板固定器，其固定上述多层基板固定器安装室安装的上述基板；

直线移送驱动部，其配备在上述多层基板固定器的一侧，以向蒸镀移送驱动部装载上述基板，所述蒸镀移送驱动部用于从上述多层基板固定器抽出基板并将所述基板向用于进行薄膜蒸镀的基板蒸镀待机室移送；以及

薄膜蒸镀腔室，其对装载在上述蒸镀移送驱动部的上述基板进行蒸镀作业，

上述蒸镀移送驱动部还具备突出部，上述突出部包括：配备在下端的弹性弹簧、和棒形状突起，所述突起通过从上述弹性弹簧绷紧连接的线与上述弹性弹簧的上端连接。

2.根据其权利要求1所述的利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置，其中，

上述直线移送驱动部是步进电动机或伺服电动机。

3.根据其权利要求1所述的利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置，其中，

上述直线移送驱动部还具备：能够向前后方向移动的钩。

4.根据其权利要求1所述的利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置，其中，

上述基板在蒸镀结束后，位于上述基板蒸镀待机室的原位置。