[发明专利]一种可旋转探针卡的半导体测量探针台有效
| 申请号： | 200710302244.5 | 申请日： | 2007-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN101464474A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 宋丰;王政烈 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 215025江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种可旋转探针卡的半导体测量探针台，至少包括：探针台主体，位于探针台主体下方的轨道，用于承载和移动载晶盘；位于上述轨道上的载晶盘，用于放置晶片；其中，还包括位于载晶盘上方的用于安装探针卡的旋转装置。本发明采用了相对运动的观念，将传统固定不动的探针卡置于可旋转的装置上，可大幅提高旋转测量精度，并且不会耗费更多时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 探针 半导体 测量 | ||
【主权项】：
1、一种可旋转探针卡的半导体测量探针台，至少包括：探针台主体，位于探针台主体下方的轨道，用于承载和移动载晶盘；位于上述轨道上的载晶盘，用于放置晶片；其特征在于还包括位于载晶盘上方的用于安装探针卡的旋转装置。
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