[发明专利]闪光放射装置无效
| 申请号： | 200710162465.7 | 申请日： | 2007-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN101202210A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 鸟饲哲哉;沟尻贵文 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/02;H01L21/324;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;关兆辉 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种将闪光放电灯的脉冲电流的时间幅度进一步缩短、能对被处理物进行热处理的闪光放射装置。将从多个闪光放电灯放射的闪光照射到被处理物上的闪光放射装置的特征在于，上述闪光放射装置具有第一闪光放电灯和第二闪光放电灯，第二闪光放电灯的电流的时间幅度小于第一闪光放电灯的电流的时间幅度，在第一闪光放电灯的电流输入之后输入第二闪光放电灯的电流。 | ||
| 搜索关键词： | 闪光 放射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种闪光放射装置，将从多个闪光放电灯放射的闪光照射到被处理物上，其特征在于，上述闪光放射装置具有第一闪光放电灯和第二闪光放电灯，第二闪光放电灯的电流的时间幅度小于第一闪光放电灯的电流的时间幅度，在第一闪光放电灯的电流输入之后输入第二闪光放电灯的电流。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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