[发明专利]程序机构异常运作检测系统及其方法无效
| 申请号： | 200710091658.8 | 申请日： | 2007-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101097835A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 陈建宏;林木沧;黄伟伦 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/66;H01L21/677 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭晓东 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造程序异常运作检测方法，包括以下步骤：(a)检测程序机构所产生的至少一个声音信号；(b)转换上述声音信号至一个频谱；(c)比较上述频谱与一个既定频谱；以及(d)如果上述频谱的第一频率振幅大体不同于上述既定频谱相同频率的振幅，产生一种信号以指示程序机构的异常运作。 | ||
| 搜索关键词： | 程序 机构 异常 运作 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造程序异常运作检测方法，其特征在于包括以下步骤：(a)检测程序机构所产生的至少一个声音信号；(b)转换上述声音信号至频谱；(c)比较上述频谱与既定频谱；以及(d)如果上述频谱的第一频率振幅大体不同于上述既定频谱的第一频率振幅，产生信号以表示上述程序机构异常运作。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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