[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法

摘要

一种基板处理装置以及基板处理方法，防止在使被液体浸湿的基板表面干燥时在基板表面上形成的图案发生破坏，良好地干燥基板表面。冲洗液以盛满的状态附着在通过从冲洗喷嘴(8)喷出冲洗液而经受了冲洗处理的整个基板表面(Wf)上，而形成所谓的桨叶状的冲洗层(21)。并且，邻近挡块(3)的对置面(31)相对基板表面(Wf)邻近配置，在对置面(31)与基板表面(Wf)所夹着的间隙空间(SP)中形成液封层(23)，在此状态下，邻近构件(3)向移动方向(－X)移动，同时向液封层(23)的上游侧端部供给含有能溶解在液体中而使表面张力降低的溶剂成分的溶剂气体。

主权项

1.一种基板处理装置，其使被液体浸湿的基板表面干燥，其特征在于，具有：邻近构件，其具有与上述基板表面对置的对置面，在该对置面与上述基板表面分离配置、并且在该对置面与上述基板表面所夹着的间隙空间中充满上述液体而形成液封层的状态下，该邻近构件相对于上述基板在给定的移动方向上能够相对自由移动；驱动装置，其使上述邻近构件相对于上述基板在上述移动方向上相对移动；溶剂气体供给装置，其向上述移动方向上的上述液封层的上游侧端部供给溶剂气体，该溶剂气体必须含有能溶解在上述液体中而使表面张力降低的溶剂成分；液体层形成装置，其在自上述移动方向上的上述液封层的上游侧端部至下游侧的整个上述基板表面上，形成桨叶状的液体层。