[发明专利]工艺过程加工能力的估计方法及装置有效
| 申请号： | 200710048189.1 | 申请日： | 2007-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN101436036A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 王邕保 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B17/02 | 分类号： | G05B17/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 揭示了一种估计工艺过程加工能力的方法，包括：根据预定标准，确定工艺过程的标准上限USL、标准下限LSL。根据工艺过程的实际应用，确定工艺过程偏差σ和目标值T。检测并获取工艺过程的实际平均值μ。根据控制要求，从第一模型和第二模型中选择一个作为估计加工能力的估计模型，其中该第一模型和该第二模型中对于不处于LSL和USL中间位置的T，所得到的加工能力估计值在T的两侧成比例地对称。之后根据所选择的模型，使用在获得的参数USL、LSL、σ、T和μ计算理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk。根据所获得的Cp和Cpk对工艺过程进行控制或者调整。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 过程 加工 能力 估计 方法 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种工艺过程加工能力的估计方法，包括：根据预定标准，确定工艺过程的预定标准上限USL和预定标准下限LSL；根据工艺过程的实际应用，确定工艺过程偏差σ和工艺过程目标值T；检测并获取工艺过程的实际平均值μ；根据控制要求，从第一模型和第二模型中选择一个作为估计加工能力的估计模型，其中，该第一模型和该第二模型中，对于不处于LSL和USL中间位置的T，所得到的加工能力估计值在T的两侧成比例地对称；根据所选择的模型，使用在参数USL、LSL、σ、T和μ计算理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk；根据所获得的Cp和Cpk对工艺过程进行控制或者调整。
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