[发明专利]工艺过程加工能力的估计方法及装置有效

专利信息
申请号: 200710048189.1 申请日: 2007-11-14
公开(公告)号: CN101436036A 公开(公告)日: 2009-05-20
发明(设计)人: 王邕保 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G05B17/02 分类号: G05B17/02
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 陆 嘉
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 工艺 过程 加工 能力 估计 方法 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及工艺过程的控制技术,更具体地说,涉及工艺过程加工能力的估计方法及装置。

背景技术

对于生产型的企业,比如制造业企业来说,需要关注其生产工艺过程和最终产品的质量以及运行情况。长期以来,理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk被用来表示工艺过程的加工能力,因此,理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk是用于度量一工艺过程或者其产品符合其预定标准的能力的指标。

对于计算加工能力,即理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk,通常通过下面所示的公式进行计算。目前,绝大多数用于估计加工能力的工具,比如商业统计软件都是利用这些公式进行计算。

对于理论加工能力率Cp:

Cp=USL-LSL6σ]]>

其中,USL是工艺过程预定标准的上限,LSL是工艺过程预定标准的下限,σ是工艺过程偏差。

对于实际加工能力率Cpk,由以下的两个公式进行计算:

Cpk1=Cp(1-k)    (1)

其中,k=|T-μ|(USL-LSL)/2,]]>T是工艺过程的目标值,μ是工艺过程的实际平均值,因而参数k也称为偏离因子(off-target factor)。

Cpk2=min(CpU,CpL)=min(USL-μ3σ,μ-LSL3σ).---(2)]]>

当工艺过程的目标值T正好位于工艺过程预定标准上限USL和下限LSL之间时,USL-T=T-LSL,于是,公式(1)得到的结果Cpk1和公式(2)得到的结果Cpk2在算术上是相等的。

对于具有双边工艺过程标准,并且符合正态分布的工艺过程,在获得了工艺过程的实际平均值和实际偏差之后,能够通过上面的公式计算理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk。在应用中,通常还会计算另外一个参数DPPM,即每百万单位中落到工作过程预定标准之外的缺陷部分的值(defective parts per million)。

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