[发明专利]工艺过程加工能力的估计方法及装置

权利要求书

1.一种工艺过程加工能力的估计方法，包括：

根据预定标准，确定工艺过程的预定标准上限USL和预定标准下限LSL；

根据工艺过程的实际应用，确定工艺过程偏差σ和工艺过程目标值T；

检测并获取工艺过程的实际平均值μ；

根据控制要求，从第一模型和第二模型中选择一个作为估计加工能力的估计模型，其中，在关注每百万单位中落到工作过程预定标准之外的缺陷部分的值DPPM的应用中，选择第二模型，而在其它应用中选择第一模型；该第一模型和该第二模型中，对于不处于LSL和USL中间位置的T，所得到的加工能力估计值在T的两侧成比例地对称，即根据第一模型或者第二模型估计得到的实际加工能力率Cpk符合：Cpk(μ＝T-a)＝Cpk(μ＝T+γ^＊a)，其中a表示从目标值T的偏移；

根据所选择的模型，使用参数USL、LSL、σ、T和μ计算理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk；

根据所获得的Cp和Cpk对工艺过程进行控制或者调整；其中，

所述第一模型定义为：

Cp=USL-LSL6σ]]>

Cpk₄＝Cp(1-k)

k=T-μT-LSLμ≤T,μ-TUSL-Tμ>T.]]>

所述第二模型定义为：

Cp=min(T-LSL3σ,USL-T3σ)]]>

Cpk₅＝Cp(1-k)

k=T-μT-LSLμ≤T,μ-TUSL-Tμ>T.]]>

。

2.一种工艺过程加工能力的估计装置，包括：

预定参数获取组件，用于根据预定标准获取预定的参数，包括根据预定标准确定的上限USL、下限LSL，以及根据工艺过程的实际应用确定的工艺过程偏差σ和工艺过程目标值T；

运行参数获取组件，用于获取工艺过程运行过程中的参数，包括实际平均值μ；

加工能力估计模型，包括第一模型和第二模型，加工能力估计模型根据具体的控制要求选择其中的一个模型，其中，在关注每百万单位中落到工作过程预定标准之外的缺陷部分的值DPPM的应用中，选择第二模型，而在其它应用中选择第一模型；该第一模型和该第二模型中对于不处于LSL和USL中间位置的T，所得到的加工能力估计值在T的两侧成比例地对称，即根据第一模型或者第二模型估计得到的实际加工能力率Cpk符合：Cpk(μ＝T-a)＝Cpk(μ＝T+γ^＊a)，其中a表示从目标值T的偏移；

加工能力估计装置，根据加工能力估计模型提供的模型，在预定参数获取组件获取的参数USL、LSL、σ、T以及运行参数获取组件获取的参数μ的基础上对理论加工能力率Cp和实际加工能力率Cpk进行估计；

工艺过程控制装置，根据加工能力估计装置估计的Cp和Cpk对工艺过程进行调整和控制；其中，

所述第一模型定义为：

Cp=USL-LSL6σ]]>

Cpk₄＝Cp(1-k)

k=T-μT-LSLμ≤T,μ-TUSL-Tμ>T.]]>

所述第二模型定义为：

Cp=min(T-LSL3σ,USL-T3σ)]]>

Cpk₅＝Cp(1-k)

k=T-μT-LSLμ≤T,μ-TUSL-Tμ>T.]]>

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