[发明专利]一种液相条件下制备硫氰酸亚铜薄膜的方法无效

专利信息
申请号: 200710044292.9 申请日: 2007-07-27
公开(公告)号: CN101109101A 公开(公告)日: 2008-01-23
发明(设计)人: 高相东;李效民;于伟东;邱继军;甘小燕 申请(专利权)人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
主分类号: C30B7/00 分类号: C30B7/00;C30B7/14;C01C3/20
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 潘振甦
地址: 200050上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种在室温液相条件下制备硫氰酸亚铜(CuSCN)薄膜的方法。其特征在于:(1)选用无机铜盐为前驱体,Cu2+浓度为0.001-0.1mol/L;(2)选用硫代硫酸钠(Na2S2O3)为络合剂,与铜离子的摩尔浓度比为2~5;(3)选用碱金属的硫氰酸盐为SCN离子前驱体,浓度范围为0.002-0.2mol/L,且SCN与Cu2+的浓度比为1-15;(4)采用“连续离子层吸附与反应”(SILAR)法进行薄膜沉积,衬底先浸渍于Cu2+前驱体溶液;再将衬底在SCN前驱体溶液中反应;衬底重新浸渍于Cu2+前驱体;重复进行;最后以去离子水对衬底进行充分漂洗。所制得的CuSCN薄膜:膜层致密、均匀,粒子尺寸小至20-50nm,400-800nm波段的光学透过率为50-70%。
搜索关键词: 一种 条件下 制备 氰酸 薄膜 方法
【主权项】:
1.一种在液相条件下制备硫氰酸亚铜薄膜的方法,其特征在于制备的步骤是:(a)铜源前驱体和硫氰酸根前驱体的制备铜源前驱体:将无机铜盐溶解于去离子水中,形成溶液,再向其中加入络合剂,得到稳定的铜离子络合物溶液;前驱体中铜离子浓度为0.001-0.1mol/L,络合剂与铜离子的摩尔浓度比为2-5,络合剂为硫代硫酸钠;硫氰酸根前驱体:将碱金属硫氰酸盐溶解于去离子水中,得到硫氰酸根前驱体溶液;所述的硫氰酸盐与铜盐的摩尔浓度比为1-15;(b)衬底准备:衬底为玻璃、蓝宝石或单晶硅,按不同类型而采用相应的预处理,预处理后衬底置于真空干燥器中备用;(c)薄膜生长:具体分为:(1)将步骤(b)预处理后的衬底浸渍于铜源前驱体溶液,使铜-硫代硫酸根络离子-[Cu(S2O3)]-吸附在衬底表面;(2)将步骤(1)的衬底转移到硫氰酸根前驱体溶液中,使衬底表面吸附的铜络离子与硫离子反应,并进行硫氰酸根离子的吸附;(3)将步骤(2)衬底再次转移到铜源前驱体溶液中,使衬底表面吸附的硫氰酸根离子与溶液本体的[Cu(S2O3)]-离子反应,并进行[Cu(S2O3)]-的吸附;(4)重复进行步骤(2)和(3)操作1-3次,使衬底表面吸附的[Cu(S2O3)]- 离子或SCN-离子与前驱体溶液中的SCN-离子或[Cu(S2O3)]-离子发生多次反应,生成多层CuSCN薄膜;(5)取出步骤(4)的衬底,以去离子水中进行充分漂洗,持续时间10-300秒;(d)将步骤(c)重复进行5-50次,即可最终在衬底上获得致密、光滑、有干涉光泽的CuSCN薄膜。
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