[发明专利]金属电容式微加速度计无效
| 申请号： | 200710043746.0 | 申请日： | 2007-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101089625A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 陈文元;李凯;吴校生;张卫平;崔峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种金属电容式微加速度计，属于微机电系统技术领域。本发明包括：上、下基体，上、下极板，质量块，支撑梁，上、下止动块，支撑柱，输入输出引脚。上极板和上止动块位于上基体上，下极板和下止动块位于下基体上，质量块同时承担中间极板的功能，质量块上分布有通孔，质量块由高分布密度支撑梁支撑并位于上、下基体之间，输入输出引脚位于下基体上，上、下基体由支撑柱连接，并由支撑柱传递上极板与输入输出引脚之间的电信号。采用金属作为主要材料。本发明能提高抗冲击能力，提高抗高负载能力，提高谐振频率，提高量程，加工方便。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 电容 式微 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种金属电容式微加速度计，包括：上基体(1)、下基体(2)、下极板(3)、质量块(4)、下止动块(5)、支撑梁(7)、支撑柱(8)、输入输出引脚(9)、上极板(10)和上止动块(11)，其特征在于：省略了中间极板，下极板(3)、质量块(4)和上极板(10)构成差分电容结构，上极板(10)和上止动块(11)位于上基体(1)上，下极板(3)和下止动块(5)位于下基体(2)上，质量块(4)由支撑梁(7)支撑并位于上基体(1)和下基体(2)之间，上基体(1)和下基体(2)之间由支撑柱(8)连接，上极板(10)由支撑柱(8)连接至位于下基体(2)上的输入输出引脚(9)。
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