[发明专利]金属电容式微加速度计

权利要求书

1.一种金属电容式微加速度计，包括：上基体(1)、下基体(2)、下极板(3)、质量块(4)、下止动块(5)、支撑梁(7)、支撑柱(8)、输入输出引脚(9)、上极板(10)和上止动块(11)，其特征在于：省略了中间极板，下极板(3)、质量块(4)和上极板(10)构成差分电容结构，上极板(10)和上止动块(11)位于上基体(1)上，下极板(3)和下止动块(5)位于下基体(2)上，质量块(4)由支撑梁(7)支撑并位于上基体(1)和下基体(2)之间，上基体(1)和下基体(2)之间由支撑柱(8)连接，上极板(10)由支撑柱(8)连接至位于下基体(2)上的输入输出引脚(9)；

所述质量块(4)、支撑梁(7)、支撑柱(8)、上止动块(11)、下止动块(5)的均为金属材料制成。

2.根据权利要求1所述的金属电容式微加速度计，其特征是：所述支撑梁(7)均匀分布。

3、根据权利要求2所述的金属电容式微加速度计，其特征是：所述支撑梁(7)在质量块周边上的分布密度大于8根/mm。

4.根据权利要求1所述的金属电容式微加速度计，其特征是：所述质量块(4)上分布有通孔(6)。

5.根据权利要求1所述的金属电容式微加速度计，其特征是：所述上止动块(11)设在上基体(1)的中心处，下止动块(5)设在下基体(2)的中心处，

6.根据权利要求1或5所述的金属电容式微加速度计，其特征是：所述上止动块(11)高于上极板(10)，下止动块(5)高于下极板(3)。

7.根据权利要求1或5所述的金属电容式微加速度计，其特征是：所述上止动块(11)、下止动块(5)分别与上极板(10)、下极板(3)绝缘。

8.根据权利要求1所述的金属电容式微加速度计，其特征是：所述支撑柱(8)呈均匀分布。

9.根据权利要求1所述的金属电容式微加速度计，其特征是：所述质量块(4)与上极板(10)、下极板(3)等距离。