[发明专利]一种供给系统无效
| 申请号： | 200710039784.9 | 申请日： | 2007-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101290864A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 刘兆虎;李祥福;方文勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种供给系统，该供给系统包括原料盒，应用系统和电磁阀，应用系统控制电磁阀工作；该供给系统还包括控制模块；原料盒通过控制模块连接到应用系统；当原料盒中的原料即将用完时，控制模块会控制应用系统停止工作。所述供给系统还包括一个感应器，该感应器用于感应原料盒内原料的使用情况并发送相应信号给控制模块。应用系统包括一个根据控制模块发送的信号通断的电开关。当原料盒的原料还很充裕时，控制模块控制电开关闭合，同时电磁阀开始工作。当原料盒的原料即将用完的时候，控制模块控制电开关断开，电磁阀停止工作。本发明有效防止了原料盒中的原料用完而应用系统还在工作的情况，提高了晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供给 系统 | ||
【主权项】：
1、一种供给系统，该供给系统包括原料盒，应用系统和电磁阀，应用系统控制电磁阀工作；其特征在于：该供给系统还包括控制模块；原料盒通过控制模块连接到应用系统；当原料盒中的原料即将用完时，控制模块会控制应用系统停止工作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710039784.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：铝线电机的接头工艺方法
- 下一篇：一种铝土矿生产氧化铝的方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
