[发明专利]一种基于掩膜打印的金属布线方法无效
| 申请号： | 200710039650.7 | 申请日： | 2007-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN101052278A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 王金意;黄贝贝;蔡文斌 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;H05K1/09 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于金属布线和金属成型技术领域，具体为一种基于掩膜打印的金属布线方法。该方法以镀覆或压覆一定厚度金属层的板材作为基体，以抗刻蚀的保护剂作为替代性的打印材料，以打印设备作这打印材料定位分配装置，由计算控制在金属覆盖层上构造图形化的保护层，最后通过化学刻蚀，在基体表面加工出金属线路和图形。本发明方法具有灵活廉价、便捷快速的特点，所获得的金属线路与图形与基体结合牢固，尺寸分辨率高(线宽约100微米)，本体特性均匀稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 打印 金属 布线 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于掩膜打印的金属布线方法，其特征在于具体步骤如下：以镀覆或压覆一定厚度金属层的板材作为基体，以抗刻蚀的保护剂作为替代性的打印材料，以打印设备作这打印材料定位分配装置，由计算控制在金属覆盖层上构造图形化的保护层，最后通过化学刻蚀，在基体表面加工出金属线路和图形。
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