[发明专利]一种微针的制作方法无效
| 申请号： | 200710039200.8 | 申请日： | 2007-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN101279714A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 洪中山 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;G12B21/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微针的制作方法，涉及采用IC制程的微针的制作方法。传统的微针制作工艺步骤较多、制作成本高，且很难制作出纳米针。本发明的方法包括下列步骤：首先提供一基板，并在基板上形成一微针材料层；接着，对微针材料层进行光刻和刻蚀，形成多个柱形微针；以及对柱形微针进行离子轰击，以形成针尖。采用本发明的方法能够实现纳米级别的微针或微针阵列的制作，且方法简单、制作成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作方法 | ||
【主权项】：
1. 一种微针的制作方法，其特征在于，包括：a)提供一基板，并在基板上形成一微针材料层；b)对微针材料层进行光刻和刻蚀，形成多个柱形微针；以及c)对所述柱形微针进行离子轰击，以形成针尖。
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