[发明专利]一种自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方法

摘要

本发明提供了一种自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方法。现有技术对气相沉积设备反应腔的漏气检查通常在设备维修后通过人工方式启动一检查反应腔是否漏气的程序进行漏气检查，存在检查间隔过长、间隔不均且受人为因素影响的问题，难以有效的检查出反应腔的漏气并避免由此所造成的损失。本发明的自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方法首先侦测自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的启动条件是否满足，且在满足时启动一检查反应腔是否漏气的程序对反应腔进行漏气检查，最后输出漏气检查的结果。采用本发明的方法可有效的检查出反应腔的漏气状况，避免由于漏气所造成的经济损失。

主权项

1. 一种自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)侦测自动检查气相沉积设备反应腔是否漏气的启动条件是否满足，若是则继续步骤(2)，若否则返回步骤(1)；(2)启动一检查反应腔是否漏气的程序对反应腔进行漏气检查；(3)输出漏气检查的结果。