[发明专利]具有预定的最终压力的粒子光学仪器有效
| 申请号： | 200710007999.2 | 申请日： | 2007-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN101013649A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | H·N·斯林杰兰德;W·R·诺尔斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/28;H01J37/00;G01N23/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周备麟;谭祐祥 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有预定的最终压力的粒子光学仪器，为此，该仪器的真空室通过第一节气阀与一个装有处在已知压力下的气体或蒸气的容器相连接，并通过第二节气阀与真空泵相连接。通过调节与上述的节气阀相关的两个电导率的比率(校准比率)使真空泵的压力达到预定的最终压力。这样，就不需要设置例如真空测量仪和控制装置，从而使该仪器的结构更为紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 预定 最终 压力 粒子 光学仪器 | ||
【主权项】：
1.一种粒子光学仪器，它具有：一个用于容纳待检样品(114)的真空室(104)，该真空室工作时由与其连接的真空泵(130，204)抽真空至最终压力；一个用于将气体或蒸气输入该真空室(104)的装置(120)，该气体或蒸气是由一个具有已知压力的容器128，B)供给的；上述真空泵与上述真空室相连接呈现第一气体电导率，用于输入气体的装置呈现第二气体电导率；其特征在于上述的第一电导率除以上述第二电导率的比率是一个被校准比率，该比率被校准到使真空室(104)具有预定的最终压力的值。
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