[发明专利]具有预定的最终压力的粒子光学仪器有效
| 申请号： | 200710007999.2 | 申请日： | 2007-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN101013649A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | H·N·斯林杰兰德;W·R·诺尔斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/28;H01J37/00;G01N23/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周备麟;谭祐祥 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 搜索关键词： | 具有 预定 最终 压力 粒子 光学仪器 | ||
【说明书】：
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