[发明专利]用于制造程序反馈控制的计算机执行自动方法及自动系统有效
| 申请号： | 200710005299.X | 申请日： | 2007-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN101089758A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 傅明荣;蔡幸城 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造程序反馈控制的自动方法及系统。该方法包括以下步骤：决定制造程序之间的关系；依据该制造程序处理晶片；通过检测机台测量处理后的晶片；从该机台取得该制造程序的制造结果信息；再依据该制造结果信息及该关系自动调整该制造程序。该系统包括：一决定模块，决定制造程序之间的关系，其中该制造程序用以制造至少一个晶片；至少一个机台，用以检测处理后的晶片；一取得模块，其耦接于该机台，并从该机台取得该制造程序的制造结果信息；以及一调整模块，依据该制造结果信息及该关系自动调整该制造程序。本发明可以在晶片处理和检测之后，自动执行制造程序的调整，因此可以减少错误并节省资源。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 程序 反馈 控制 计算机 执行 自动 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造程序反馈控制的计算机执行自动方法，该方法包括以下步骤：决定制造程序之间的关系；依据该制造程序处理至少一个晶片；取得该制造程序的制造结果信息；以及依据该制造结果信息及该关系自动调整该制造程序。
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