[发明专利]用于制造程序反馈控制的计算机执行自动方法及自动系统有效
| 申请号： | 200710005299.X | 申请日： | 2007-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN101089758A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 傅明荣;蔡幸城 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 制造 程序 反馈 控制 计算机 执行 自动 方法 系统 | ||
1.一种用于制造程序反馈控制的计算机执行自动方法，该方法包括以下步骤：
决定多个制造程序之间的对应关系；
依据上述制造程序处理至少一个晶片；
取得上述制造程序的制造结果信息；以及
依据该制造结果信息及该对应关系自动调整上述制造程序。
2.如权利要求1所述的用于制造程序反馈控制的计算机执行自动方法，其中，该对应关系包含一对一、一对多、或多对一的对应关系。
3.如权利要求1所述的用于制造程序反馈控制的计算机执行自动方法，其中，该决定多个制造程序之间的对应关系的步骤还包含决定共同程序的步骤。
4.如权利要求1所述的用于制造程序反馈控制的计算机执行自动方法，其中，该计算机执行自动方法还包括依据调整后的制造程序处理晶片的步骤。
5.如权利要求1所述的用于制造程序反馈控制的计算机执行自动方法，其中，该对应关系和上述制造程序存储于一数据库中。
6.一种用于制造程序反馈控制的自动系统，其包括：
一决定模块，决定多个制造程序之间的对应关系，其中上述制造程序用以制造至少一个晶片；
至少一个机台，用以检测通过上述制造程序处理后的所述至少一个晶片；
一取得模块，其耦接于该机台，并从该机台取得上述制造程序的制造结果信息；以及
一调整模块，依据该制造结果信息及该对应关系自动调整上述制造程序。
7.如权利要求6所述的用于制造程序反馈控制的自动系统，其中，该对应关系包含一对一、一对多、或多对一的对应关系。
8.如权利要求6所述的用于制造程序反馈控制的自动系统，其中，该决定模块还执行共同程序决定。
9.如权利要求6所述的用于制造程序反馈控制的自动系统，其中，该系统还包含至少一个制造机台，所述制造机台依据调整后的制造程序处理晶片。
10.如权利要求6所述的用于制造程序反馈控制的自动系统，其中，该对应关系和上述制造程序存储于一数据库中。
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