[发明专利]用于利用远程等离子体源的大面积等离子体增强化学气相沉积装置的清洗器具

摘要

本发明描述了一种用于清洗沉积室的方法，所述方法与大面积沉积是相容的。所述方法包括通过至少两个注射点且在用于反应性物质的等同路径上以均匀的方式将被活化的气体从远程等离子体源输送至所述室中的区域。一种相应的用于分布被活化的反应性气体的气体注射系统包括反应性气体源、用于分布所述气体的管道以及可抽真空的室。所述气体被排放至所述管道，所述管道具有被结构性地连接至所述源的至少一个入口以及通往所述室的至少两个出口，由此形成了至少部分独立的管道分支，其中在入口与每个相应的出口之间计算出的每条管道分支的长度以及与气体流垂直的横截面是基本上相等的。

主权项

1、一种用于对被构造成用于1平方米或更大面积的基底的真空沉积装置进行清洗的方法，所述方法包括：通过至少两个注射点以均匀的方式将被活化的气体从远程等离子体源输送至室内，其中用于所述被活化的气体的路径是等同的。