[发明专利]具有抗模糊隔离的彩色像素和形成方法

摘要

在第一像素传感器单元(188)的至少一部分和第二像素单元(188a)的至少一部分下方形成具有第一导电类型的植入区(100)，以限制光电二极管收集/耗尽区的深度并限制像素的彩色响应。为了进一步减少邻近像素之间的串扰和减少模糊，在衬底中和在具有所述第一导电类型的停止植入区下方形成具有第二导电类型的抗模糊隔离区(200)。

主权项

1.一种成像装置，其包括：具有第一导电类型的衬底；形成于所述衬底上方的至少第一和第二光电传感器，其每一者具有各自的具有第二导电类型的区以用于积聚对应于不同的各自光波长的电荷；以及位于所述第一和第二光电传感器的所述区下方的具有所述第一导电类型的至少第一和第二掺杂区，所述第一和第二掺杂区中的至少一者处于与所述第一和第二掺杂区中的另一者不同的深度。