[发明专利]用热解碳使多孔底材致密化的化学气相渗透法

摘要

将一个或多个致密化用的底材(10)置于炉(12)中，向其中导入含有热解碳前体气体以及载气的反应气体，该前体气体含有至少一种气态烃C_xH_y，其中x和y是整数且x使得1＜x＜6，载气包含至少一种选自甲烷和惰性气体的气体。从炉中提取含有导入气体的残留组分和反应产物，包括氢的废气，并将提取自废气并含有热解碳前体试剂气体的至少一部分气流再循环(回路80)到导入炉中的反应气体中，在去除废气中所含的重质烃(处理40)之后进行再循环。

主权项

1.用热解碳使多孔底材致密化的化学气相渗透法，该方法包括下列步骤：-将一个或多个致密化用的多孔底材装到炉中；-与包含至少一种选自甲烷和惰性气体的气体的载气一起，向炉中导入含有热解碳前体试剂气体的反应气体，该前体试剂气体含有至少一种气态烃CxHy，其中x和y是自然数且x使得1＜x＜6；-从炉中提取含有导入气体的残留组分和反应产物，包括氢的废气；和-使至少一部分提取自废气并含有热解碳前体试剂气体的气流再循环到导入炉中的反应气体中，由此使反应气体中所含的至少一部分热解碳前体试剂来自再循环气流。