[发明专利]机电存储器、使用其的电路、和机电存储器驱动方法

摘要

可以实现一种与传统半导体工艺具有高亲和力，具有机械地完全地中断电路的开关功能，并且能够进行非易失性信息记录的存储元件。提供了一种在基底上形成的机电存储器，所述存储器具有通过电极夹置的存储单元和作为介助于支柱部在空气中桥接的梁的可移动电极。通过所述配置，可以以简单结构实现非易失性存储器。即并且可以实现功耗低且和成本低的高性能的机电存储器，和使用其的电气装置。

主权项

1.一种在基底上形成的机电存储器，包括：在基底上形成使得存储单元插入在第一电极和第二电极之间的存储部；和具有可移动的电极的开关部，可移动电极是在所述基底上形成的支柱部上方延伸的梁形构件，同时以预定距离与第一电极隔离，并且所述开关部形成使得可以通过由静电力引起的可移动电极的位移而在第一电极和可移动电极之间形成导电路径，并且其中进行了将数据写入所述存储器和从所述存储器读出的操作。