[发明专利]玻璃基板用研磨液组合物有效
| 申请号： | 200610169045.7 | 申请日： | 2006-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1986612A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 西本和彦;米田康洋;代田真美 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C08J5/14 | 分类号： | C08J5/14;C08L33/02;C08K3/36;B24B7/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了玻璃基板用研磨液组合物以及使用该研磨液组合物的玻璃基板的制造方法，其中所述玻璃基板用研磨液组合物含有一次粒子的平均粒径为5～50nm的二氧化硅和重均分子量为1000～5000的丙烯酸/磺酸共聚物，该研磨液组合物的pH为0.5～5。玻璃基板用研磨液组合物适用于例如玻璃硬盘、强化玻璃基板用的铝硅酸盐玻璃以及玻璃陶瓷基板(晶化玻璃基板)、合成石英玻璃基板(光掩模基板)等的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 基板用 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.玻璃基板用研磨液组合物，其含有一次粒子的平均粒径为5～50nm的二氧化硅和重均分子量为1000～5000的丙烯酸/磺酸共聚物，该研磨液组合物的pH为0.5～5。
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