[发明专利]化学增强型光刻胶组合物

摘要

一种化学增强型正光刻胶组合物，它含有(A)分子式(VIb)的化合物：(B)一种树脂，该树脂含有对酸不稳定的基团的结构单元，和它本身不溶或微溶于碱性水溶液，但通过酸的作用可变得溶于碱性水溶液，和(C)分子式(I)的产酸剂。

主权项

1.一种化学增强型正光刻胶组合物，它含有(A)分子式(VIb)的化合物：其中A表示任选地被取代的脂环烃基，X表示具有1-4个碳原子的亚烷基或单键，R¹⁵和R¹⁶各自独立地表示H、具有1-12个碳原子的烷基、具有3-12个碳原子的环烷基、具有1-12个碳原子的卤代烷基、具有2-12个碳原子而且除了键合到相邻基团上的-CH₂-之外的至少一个-CH₂-被-S-或-O-取代的烷基，具有1-12个碳原子的烷氧基或任选地被取代的芳基，和n表示1-5的整数，条件是若n为2或更高，则在分子式(VIb)内的各-X-CO-NR¹⁵R¹⁶可不同，(B)一种树脂，该树脂含有对酸不稳定的基团的结构单元，和它本身不溶或微溶于碱性水溶液，但通过酸的作用可变得溶于碱性水溶液，和(C)分子式(I)的产酸剂：其中Q¹，Q²，Q³，Q⁴和Q⁵各自独立地表示H、羟基、具有1-12个碳原子的烷基、具有1-12个碳原子的烷氧基或吸电子基团，和Z⁺表示分子式(Va)、(Vb)或(Vc)的基团，分子式(Va)的基团：其中P¹，P²和P³各自独立地代表H、羟基、具有1-6个碳原子的烷基或具有1-6个碳原子的烷氧基；分子式(Vb)的基团：其中P⁴和P⁵各自独立地代表H、羟基、具有1-6个碳原子的烷基或具有1-6个碳原子的烷氧基；分子式(Vc)的基团：其中P⁶和P⁷各自独立地代表具有1-6个碳原子的烷基或具有3-10个碳原子的环烷基，或P⁶和P⁷键合，形成具有3-7个碳原子的二价无环烃，它与相邻的S⁺一起形成环，和在该二价无环烃中的至少一个-CH₂-可被-CO-、-O-或S-取代；P⁸代表H；P⁹代表具有1-6个碳原子的烷基、具有3-10个碳原子的环烷基或任选地被取代的芳基，或P⁸和P⁹键合，与相邻的-CHCO-一起形成2-氧环烷基。