[发明专利]非易失存储元件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200610143922.3 申请日: 2006-11-02
公开(公告)号: CN1959998A 公开(公告)日: 2007-05-09
发明(设计)人: 浅野勇;泰勒·A·劳里 申请(专利权)人: 尔必达存储器株式会社
主分类号: H01L27/24 分类号: H01L27/24;H01L21/82;G11C11/56;G11C16/02
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 谷惠敏;钟强
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 非易失存储元件,包含:下电极12、设置在下电极12上的位线14以及包含相变材料并且连接在下电极12和位线14之间的记录层15。根据本发明,位线14与记录层15的初始生长表面15a接触。该结构可以通过在记录层15之前形成位线14来得到,得到三维结构。这样减小了记录层15和位线14之间的接触面积,减少了向位线14的热扩散而不增加记录层15的厚度。此外,利用该三维结构,在位线14和记录层15之间不存在上电极,降低了制造工艺的复杂性。
搜索关键词: 非易失 存储 元件 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种非易失存储元件,包括:下电极;设置在下电极上的位线;和包含相变材料、连接在下电极和位线之间的记录层,其中位线与记录层的初始生长表面接触。
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